超純水器制備超純水的原理和步驟大體如下：
1.原水：可用自來(lái)水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。
2.機(jī)械過(guò)濾：通過(guò)砂芯濾板和纖維柱濾除機(jī)械雜質(zhì)，如鐵銹和其他懸浮物等。
3.活性炭過(guò)濾：活性炭是廣譜吸附劑，可吸附氣體成分，如水中的余氯等；吸附細(xì)菌和某些過(guò)渡金屬等。氯氣能損害反滲透膜，因此應(yīng)力求除盡。
4.反滲透膜過(guò)濾：可濾除95%以上的電解質(zhì)和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數(shù)離子的去除，使離子交換柱的使用壽命大大延長(zhǎng)。
5.紫外線消解：借助于短波（180nm-254nm）紫外線照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有機(jī)化合物，如甲醇、乙醇等，使其轉(zhuǎn)變成CO2和水，以降低TOC的指標(biāo)。
6.離子交換單元：已知混合離子交換床是除去水中離子的決定性手段。借助于多級(jí)混床獲得超純水也并不困難。但水的TOC指標(biāo)主要來(lái)自樹(shù)脂床。因此，高質(zhì)量的離子交換樹(shù)脂就成為成敗的關(guān)鍵。所謂高質(zhì)量的樹(shù)脂，就是化學(xué)穩(wěn)定性特別好，不分解，不含低聚物、單體和添加劑等的樹(shù)脂。所謂"核工業(yè)級(jí)樹(shù)脂"大概就屬于這一類(lèi)樹(shù)脂。對(duì)樹(shù)脂的要求是質(zhì)量越高越好?？上?guó)內(nèi)很少有人在這方面下工夫。滿足于生產(chǎn)大路貨。
7.0.2μm濾膜過(guò)濾，以除去水中的顆粒物到每毫升1個(gè)（小于0.2μm的）.經(jīng)過(guò)上述各步驟處理后生產(chǎn)出來(lái)的水就是超純水了。應(yīng)能滿足各種儀器分析，高純分析，衡量。